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      產品和服務
      真空紫外光源

     真空紫外光源

     

     

    1. 產品介紹:

    加拿大Resonance公司從20世紀70年代就開始和加拿大空間局(CSA)專業研發生產紫外光源,并在80-90年代和NASA有著密切的合作,現在生產的真空紫外光源是基于Ar,He,Xe的高功率高通量的三種型號紫外光源,波長從范圍117-172nm,F在廣泛用于土壤成分檢測、氣體檢測、工業、石油業等。

     

     

    2. 應用:

    a.  工業污染控制(廢水處理、廢氣處理)

    b.  表面改性(聚合物光蝕刻、光誘導化學蒸汽沉積)

    c.  做一些樣品的的光譜測試

    d.  樣品的透光性檢測

     

     

     

    3. 產品參數:

     

     

    型號

     

    KrLM-L XeLM-L

     

    KrLM-LQD XeLM-LQD

     

    KrLM-LQD12

    XeLM-LQD12

    ArCM-L KrCM-L XeCM-L

    ArCM-LPu KrCM-LPu XeCM-LPu

    ArCM-QDHP KrCM-QDHP XeCM-QDHP

    ArCM-LHP KrCM-LHP XeCM-LHP

     

    單位

    狀態

    Production

    Production

    Production

    Production

    PreProd

    PreProd

    Development

     

    峰值波長 Ar

     

     

     

    128

    128

    128

    128

    nm

    峰值波長 Kr

     

    117, 124

     

    117, 124

     

    117, 124

     

    117,124, 145

     

    145

     

    145

    117, 124,

    145

     

    nm

    峰值波長 Xe

    147

    147

    147

    147, 172

    172

    172

    147, 172

    nm

    VUV通量 Ar

    na

    na

    na

    5 x 1014

    1 x 1015

    6 x 1015

    2 x 1016

    P/sec/str

    VUV通量 Kr

    3 x 1015

    3 x 1015

    3 x 1015

    5 x 1015

    1 x 1016

    6 x1016

    2 x 1017

    P/sec/str

    VUV通量 Xe

    5 x 1015

    5 x 1015

    5 x 1015

    7 x 1015

    1.5 x 1017

    1 x 1017

    3 x 1017

    P/sec/str

    全角輸出圓錐

    45

    45

    45

    45

    40

    45

    45

    燈泡窗口位置

    -4

    +1

    10 - 30

    -4

    -1

    3 -20

    3

    cm

    Window CA

    0.8

    0.8

    0.8

    0.8

    0.8

    6 x 0.8

    6 x1.8

    cm

     

    調制和脈沖

     

    Mod/option

     

    Mod/option

     

    Mod/option

     

    Mod/option

    P

    2µsec/1KHz

     

    Mod/option

     

    CW

     

    標準法蘭

    2.75 CF

    2.75CF

    2.75CF

    2.75CF

    2.75CF

    4.5CF

    4.5CF

    英寸

    特點

    Opt. additional window or lens flange

    Rapid lamp interchange, closer to target

    Can be close to target deep in vac. chamber

    Continuum, good for absorption spectra

    Unique VUV pulses Photoionizatio n

     

    Higher intensity

     

    Higher intensity

     

     

    型號

    AaBC-DEF where Aa = gas e. g. Kr = Krypton, Xe = Xenon; B = Line or continuum e. g. L = line and C = mixed continuum and line or pure

    continuum, C=Window material e. g. M = Magnesium fluoride: -DEF is source configuration e. g. -L = standard lab model, QD = Quick

    Disconnect, LPu = lab model pulsed, 12QD = 12 inch re-entrant lamp with Quick disconnect flange, LHP = Lab High

    Power

    狀態

    Production = in production, PreProd = pre production prototype tested, Developmental: Still in development

    光譜類型

    Line: lines at 116.5 and 123.6 nm Krypton, Lines at 129 and 147 Xenon (Argon lines not transmitted by MgF2 window), Mixed: lines at 116.5 and 123.6 nm and Excimer continuum from 123.6 to 170nm which peaks at 145nm, Xenon line at

    147 and continuum pk 172

    Continuum: Excimer continuum: Ar 110 to 140 nm, Kr 123.6 to 170 nm Xe 145 to 200

    窗口位置

    Relative to the front the CF flange face. x.y are away from flange and +x.y depth into vacuum chamber from flange face.

     

    調制脈沖

    Mod/optional: Option to modulate from 1 to 1,000 Hz. P 2μsec/1KHz means that lamp has 2 microsecond pulses driven

    by DC pulse supply at

    about 1 KHz. Syncing this supply with an external waveform is possible, CW means continuous in time

     

    系統

    Complete system includes power supply, EMI shielded enclosure, Vacuum flange and NIST traceable test on vacuum monochromator

     


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